多晶硅生產中需要什么樣的廢氣治理設備

 

在多晶硅生產中，會產生廢氣和殘液。目前，我***的廢氣治理設備已較為先進，以往的處理技術已提高到更高的水平。

 

 

 

多晶硅是太陽能和微電子工業的關鍵原料。隨著我***太陽能產業的***發展，對多晶硅的需求日益增加。目前，多晶硅技術十分活躍。主要有西門子法、冶金法、等離子體法、硅烷法、流化床法、熔鹽電解法、無氯技術等。

 

西門子法通過氣相沉積法制備柱狀多晶硅。為提高原料利用率，采用閉環生產工藝。改進后的西門子工藝生產的多晶硅約占世界多晶硅產能的80%。

 

 

***內外對西門子法制備高純多晶硅的研究較多。例如，張宇等人通過催化化學氣相沉積法制備了多晶硅薄膜。

 

采用m. m. dahl等對流化床中多晶硅的微觀結構和顆粒生長進行了研究。此外，多晶硅的生產工藝包括碳熱還原法、區域熔融法等。碳熱還原法是利用高純碳還原硅生產多晶硅，區域熔融法是利用金屬定向凝固原理將金屬級硅提純到太陽能級硅。

 

廢氣及殘液處理

在多晶硅的制備過程中，產生了***量的廢氣和廢液。***內***部分裝置通常先用水水解，然后用氫氧化鈉中和廢氣治理設備和殘液處理。